Разработана технология получения плазмы для ускорения создания новых литографов
Плазма была получена благодаря единственной в мире установке, создающей непрерывный терагерцевый лазерный разряд, сообщили в пресс-службе Институте ядерной физики СО РАН
Плазма была получена благодаря единственной в мире установке, создающей непрерывный терагерцевый лазерный разряд, сообщили в пресс-службе Институте ядерной физики СО РАН